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Q. PECVD defect 관련 질문입니다.

sssoling

안녕하세요. PECVD 공정엔지니어입니다. 다름이 아니라, SiN과 SiO의 공정을 수행하면서 이런저런 논문들을 보던와중에 defect에 관심이 생겨서 질문 올립니다. 1. hillock이나 블리스터의 개념은 이해했으나 해결방안은 무엇이 있는지 잘 모르겠습니다. 2. 그 이외에 발생할 수 있는 defect의 종류는 무엇이 있고, 방안은 무엇인지? 질문이 답변하기 어려울 수 있지만, 정보를 얻기 어려워서 게시합니다ㅠㅠ 감사합니다!


2024.09.14

답변 2

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    2024.09.14


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    Memory Department삼성전자
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    2024.09.13


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