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Q. PECVD defect 관련 질문입니다.
안녕하세요. PECVD 공정엔지니어입니다. 다름이 아니라, SiN과 SiO의 공정을 수행하면서 이런저런 논문들을 보던와중에 defect에 관심이 생겨서 질문 올립니다. 1. hillock이나 블리스터의 개념은 이해했으나 해결방안은 무엇이 있는지 잘 모르겠습니다. 2. 그 이외에 발생할 수 있는 defect의 종류는 무엇이 있고, 방안은 무엇인지? 질문이 답변하기 어려울 수 있지만, 정보를 얻기 어려워서 게시합니다ㅠㅠ 감사합니다!
2024.09.14
답변 2
- ddo__young삼성전자코상무 ∙ 채택률 57% ∙일치회사
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- MMemory Department삼성전자코상무 ∙ 채택률 82% ∙일치회사
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